高分辨率高帧率硅基液晶LCoS显示芯

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陈弈星,夏军,孙伟锋,时龙兴

东南大学,南京芯视元电子有限公司

摘要:硅基液晶(liquidcrystalonsilicon,LCoS)微显示芯片是一种结合了CMOS芯片和液晶显示的硅基微显示技术,具有体积小、分辨率高和帧率高等特点,可以广泛应用于便携激光投影、AR眼镜、车载HUD和智能制造等领域。介绍了LCoS微显示芯片的结构、关键技术和驱动方式,并提出了一种高分辨率、高帧率的LCoS显示芯片设计方法,采用模拟像素驱动、高速数据接口和时序彩色显示方案,分辨率达到了P,刷新帧率达到了Hz。

关键词:LCoS;CMOS;液晶屏;驱动芯片;高分辨率;高帧率

0引言

硅基液晶(liquidcrystalonsilicon,LCoS)是结合了CMOS集成电路设计工艺和液晶封装技术的硅基微显示技术。尽管LCoS研究开始的比较早,由于早期CMOS工艺的限制,这项技术一直没有大规模应用,分辨率也较低。但是在一些衍射光学领域,例如空间光调制器领域,一直是光镊、光通信等应用的核心器件。随着CMOS工艺的发展,多层金属工艺成为普遍选项,适用于制造液晶屏的顶层金属处理工艺也得到充分的研究并取得很大的进展,分辨率得以大幅提升,这一显示技术在消费类市场才得到了较多的

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